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    UNIPOL-1203化學機械磨拋機

    簡要描述:UNIPOL-1203化學機械磨拋機,適用于CMP平坦化和平滑化工藝技術, 整機研磨部分采用防腐材料,耐化學腐蝕,配置自動滴料器和精密磨拋控制儀,全自動觸摸屏面板,從加工性能和速度上同時滿足晶圓等面型加工的需求。

    • 產品型號:
    • 廠商性質:生產廠家
    • 更新時間:2025-02-12
    • 訪  問  量:1209
    詳細介紹
    品牌其他品牌磨盤個數1個
    價格區間5萬-10萬產地類別國產
    應用領域冶金,航天,汽車,電氣,綜合

    產品簡介:UNIPOL-1203化學機械磨拋機,適用于CMP平坦化和平滑化工藝技術, 整機研磨部分采用防腐材料,耐化學腐蝕,配置自動滴料器和精密磨拋控制儀,全自動觸摸屏面板,從加工性能和速度上同時滿足晶圓等面型加工的需求。

    產品名稱

    UNIPOL-1203化學機械磨拋機

    安裝條件

    本設備要求在海拔1000m以下,溫度25℃±15℃,濕度55%Rh±10%Rh下使用。

    1、水:設備配有上水口及下水口,需自行連接自來水及下排水

    2、電:AC220V 50Hz,必須有良好接地

    3、氣:無

    4、工作臺:尺寸800mm×600mm×700mm,承重200kg以上

    5、通風裝置:不需要

    主要特點

    1、超平不銹鋼拋光盤(平面度為每25mm×25mm小于0.0025mm)。

    2、超精旋轉軸(托盤端跳小于0.01mm)。

    3、設有兩個加工工位,可分別進行控制。

    4、配有全自動控制觸摸屏面板,可設置主軸轉速、擺臂速度、磨拋時間。

    5、配置自動滴料器,流量速率可視化調整,自動研磨和拋光。

    6、配置GPC-100A精密磨拋控制儀,可調節壓力,修整面型,使磨拋更加方便快捷。

    7、研磨部分采用防腐材料,耐化學腐蝕。

    技術參數

    主機部分

    GPC-100A精密磨拋控制儀

    自動滴料器

    1、電源:220V

    2、功率:450W

    3、磨拋盤轉速:10-240rpm

    4、磨拋工位:2個

    5、擺臂調節檔位:1-15檔;

     (改前調速檔位為1-3)

    6、托盤端跳:0.008/250mm

    7、不銹鋼磨拋盤:φ300mm

    8、載樣盤:φ105mm

    9、修盤環:φ0127.5mm

    1、載樣盤直徑:?103mm

    2、載樣盤軸向行程:12mm

    3、數顯表精度:0.001mm

    4、載樣盤可調加載壓力:

               0.1kg-2.1kg

    5、壓力確認儀有效量程:1g-5000g

    6、樣品裝卡方式:真空吸附

    7、承載樣件尺寸:

     直徑≤103mm、 厚度≤12mm

    8、尺寸:外徑146mm,高266mm

    SKZD-2滾筒滴料器

    1、容積:1.5L

    2、流量:0-35ml/min

    3、尺寸:170×290×350mm;

     重量:3kg

    SKZD-4自動滴料器

    1、加液泵:4個

    2、料液瓶:600ml/瓶

    3、計時范圍:1-999min

    4、流量:0.1ml/min-10ml/min

    5、尺寸:230×370×450mm;

     重量:10kg

    產品規格

    1、外形尺寸:550mm×700mm×420mm

    2、重量:90Kg

    標準配件

    1

    鑄鐵研磨盤1個研磨盤

    2

    不銹鋼拋光盤

    1個

    3

    載物盤

    1個

    4

    修盤環

    1個

    5

    SKZD-2滴料器

    1個

    滴料器

    6

    SKZD-4自動滴料器

    1個

    滴料器

    7

    GPC-100A精密磨拋控制儀

    1個

    8

    拋光墊

    (磨砂革、合成革、聚氨酯)

    各1片

    9

    剛玉研磨微粉

    0.5kg

    10

    石蠟棒

    4根

    可選配件

    1、YJXZ-12攪拌循環泵

    2、精密測厚儀

    3、陶瓷研磨盤

    4、玻璃研磨盤

    5、磁性樹脂金剛石研磨片

    <strong><strong><strong>UNIPOL-1203化學機械磨拋機</strong></strong></strong>




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